




氦質(zhì)譜檢漏儀的原理
氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源,質(zhì)量分析器和離子檢測(cè)器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以一定能量注入質(zhì)分析器,
目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類(lèi)離子按其質(zhì)荷比的不同實(shí)現(xiàn)分離。
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檢漏儀的優(yōu)點(diǎn)
1、多種語(yǔ)言和計(jì)量單位選擇,可選中文界面。
2、135o 電離偏轉(zhuǎn) (自然聚焦點(diǎn))的全新質(zhì)譜技術(shù),金屬密封結(jié)構(gòu)。
3、新的電子線路及信號(hào)處理設(shè)計(jì)。
4、小可檢漏率高、靈敏度覆蓋范圍可達(dá)12個(gè)量程。
5、快速清氦和快速響應(yīng)。
6、測(cè)試口耐壓高,可實(shí)現(xiàn)大漏檢漏。
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檢漏儀使用中注意事項(xiàng)
檢漏儀在使用過(guò)程中需特別注意以下幾點(diǎn):
①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi),電壓過(guò)低儀器啟動(dòng)困難,且性能不穩(wěn)定,電壓過(guò)高會(huì)燒壞電源,嚴(yán)重時(shí)還會(huì)燒毀母板的電路板和分子泵,應(yīng)連接穩(wěn)壓電源(UPS)。
②儀器在運(yùn)行過(guò)程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中,若搬動(dòng)檢漏儀,容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。
③檢漏儀應(yīng)按照說(shuō)明書(shū)的要求定期進(jìn)行保養(yǎng),保養(yǎng)的項(xiàng)目有更換機(jī)械泵油、更換過(guò)濾網(wǎng)、更換過(guò)濾器。
本文介紹了5 種檢漏儀常見(jiàn)故障的分析與處理方法,其中儀器內(nèi)部存在泄漏環(huán)節(jié)是一個(gè)易被忽視卻又易產(chǎn)生故障的環(huán)節(jié),當(dāng)檢漏部位的復(fù)檢結(jié)果不一致時(shí),就需檢測(cè)儀器內(nèi)部是否有漏。檢漏儀內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊,定位難度大,本文采用切斷分子泵風(fēng)扇電源和使用小流量噴槍的方式,提高了密封部位定位的能力。檢漏儀是檢漏工作的核心部件,在使用過(guò)程中應(yīng)嚴(yán)格按照說(shuō)明書(shū)的操作要求進(jìn)行使用。文中以上出現(xiàn)的故障、現(xiàn)象的處理方式是本單位在多年使用過(guò)程中的一個(gè)總結(jié)和歸納。③重復(fù)性測(cè)量重復(fù)性是用實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)偏差表征的,本校準(zhǔn)方法采用極差法來(lái)表征重復(fù)性。對(duì)檢漏工作者具有一定的參考價(jià)值。
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